集成電路生產(chǎn)的第一步是通過傳輸電路的模式到基板。光敏聚合物光刻用紫外線照射，成像去除輻照部分。一旦電路圖案固定在光刻膠上，圖案可以通過蝕刻工藝復(fù)制到多晶硅等襯底薄膜上，從而形成晶體管柵電路，同時利用鋁或銅實(shí)現(xiàn)元件之間的互連，或者利用硅封閉互連路徑。蝕刻的效果是將印刷圖案轉(zhuǎn)移到基片上，具有較高的精度...
發(fā)布日期：2020-6-24 查看更多>>
真空是一種依靠等離子體激活物質(zhì)去除表面污漬的清洗設(shè)備。它屬于電子工業(yè)的干洗，在真空泵制造過程中制造一定的真空條件以滿足清洗的需要，等離子體的清洗需要主要通過特定的氣體分子在真空、放電等特殊場合，如低壓氣體輝光等。簡單地說，等離子體清洗需要在真空中進(jìn)行（通常大約100pa），因此需要真空泵。 ...
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plasma等離子表面活化機(jī)在處理產(chǎn)品表面活化的應(yīng)用是一項具有全球影響的重要科學(xué)和工程，對高技術(shù)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和傳統(tǒng)工業(yè)的轉(zhuǎn)型具有重要的影響。三分之一的微電子器件采用等離子體技術(shù)，90%的聚合物材料都要經(jīng)過低溫等離子體清洗和等離子體表面處理。科學(xué)家預(yù)測，離子體清洗機(jī)、等離子體處理機(jī)和等離子體表面處理設(shè)備，將在...
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