plasma等離子清洗機（www.sfi-crf.com）會應用到各種各樣加工工藝氣體，表層清理和活化一般會應用到氧、氫、氮和空氣壓縮，然而依據加工工藝的不同也會應用氬氣。那么為何要應用氬氣這類氣體呢，及其它在plasma清洗機中的主要發揮的功效是什么。

氬是一種無色，無味的惰性氣體，工業上主要用在電弧焊接和金屬材料激光切割保護上，氬是一種惰性氣體，所以弱電解質后造成的離子體與基材不產生化學變化。在plasma清洗中，氬用在基材表層的物理學清理和表層粗化。因而，氬等離子清洗機廣泛運用于半導體材料、微電子技術、晶圓制造等制造行業。真空等離子清洗機中氬離子產生的輝光是暗紅色的。在同樣充放電自然環境下，氫氣、氮氣產生的等離子體均為鮮紅色，不過氬氣的色度小于氮氣，高過氫氣。

在圓晶、夾層玻璃等產品的表層顆粒物除去灰塵全過程中，一般選用氬氣對表層顆粒物開展轟擊，以完成顆粒物的分散化和松脫，隨后再開展超聲清洗或離心清理的工藝。尤其是在半導體封裝全過程中，進行導線加工工藝后避免被空氣氧化，也是選用氬氣清洗機或氬氫等離子表層清理。

氬氫混合應用不僅可以提升粗糙度外，還能有效除去焊層表層的有機化學空氣污染物，對表層微空氣氧化進行還原，普遍應用在半導體和工廠SMT等行業。