等離子清洗機真空腔體（www.sfi-crf.com）是一種維持真空泵內部狀況的容器，真內腔的品質是等離子清洗機質量特性好與壞的條件之一。不管是鍍膜或是表面產品等作業是需要在腔體內進行一系列的操作，腔體的設計需要考慮到容積、使用的原材料和根據不同設備使用的形狀。

    有些等離子清洗機是為了半導體清洗而設計的，以便半導體材料運用中真內腔的總數，開發設計了真內腔，圓晶容積基礎不會改變。該構造選用含有壓力差真空泵槽的預訂位氣滾動軸承的泵。不銹鋼板是建造真內腔的關鍵構造材料之一，也可以根據實際的需求采用不同的材質。在其中三百系列產品不銹鋼板為百分之十到百分之二十高碳鋼，廣泛運用于高真空、超高裝置之中。

    方便減少真內腔的產品成本，鋁合金鑄造也獲得了普遍的運用。除此之外，也有很多應用鈦金屬生產制造專用型真空內腔的設備。為了減少內腔內壁的面積，一般選用噴砂處理或化學拋光的方式得到光滑的表面。選用電解拋光對超高真空系統的內腔開展了生產加工，電焊焊接是真內腔生產制造的關鍵步驟之一。為了防止熔化金屬材料和氧在空氣中的產生的化學變化從而讓電焊焊接品質遭受危害，一般選用氬弧焊進行電焊焊接。氬弧焊就是指在電焊焊接全過程中在鎢電極周邊，噴涌出氬氣以避免金屬材料在高溫下空氣氧化。