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水滴角測量儀應用芯片半導體行業

發布時間:2020-6-24 16:53:45


半導體芯片行業,特別是在晶圓制造過程中對晶圓的純度要求很高,只有需要晶圓才能被視為合格。水滴角測量儀是評價等離子體清洗效果的一種有效工具。近些年以來,我國芯片行業發展迅速,對半導水滴測試角提出了更高的要求。

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根據水滴角測試的基本原理,固體表面接觸角值或水滴角值不同于左、右、前、后,因此,水滴角測量儀器的算法采用符合界面化學基本原理的3D算法(adsa-realdrop)。同時,硬件必須具有微電平控制精度的二維水平調節表和微電平控制精度的二維水平調節機構。

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芯片半導體應用測試技術要求:
1.由于芯片的納米工藝,如7nm或者更小,結構多樣,方向多樣,在芯片或晶片制作過程中異質性特別突出。此外,要求水滴角度測量儀采用阿莎算法,充分利用其高靈敏度。

2.水滴角度測量儀的應用特性要求微液滴(盡可能在1ul內,使用超細針)在一小范圍內左、右、前、后由于小變化造成的清洗效果差。

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